在加工塑料和弹性体材料时，采用离子氮化和硬质PVD涂层的组合工艺处理方法，可有效遏制磨损、冷焊、腐蚀和材料堆积等问题。该组合工艺，除了提高表面硬度和抗化学能力外，还可优化强度和韧性等性能。

关键参数包括：材料的选择、等离子热处理工艺类型及涂层种类。

等离子热处理工艺温度较低，工艺处理过程中工件的尺寸和韧性等变化很小，因此，材料的选择范围很广。涂层的工艺温度可低至180℃，因此，渗碳和PVD硬质膜涂层组合工艺也可是一种选择。除了传统硬质膜涂层外，W-C：H类的干式润滑薄膜可应用于低摩擦领域。

等离子渗氮及PVD涂层组合工艺，在大型零件上的应用如今已实现产业化。