磁控溅射真空镀膜机操作流程

是否自如，联轴器、输入电极接触是否良好，各密封处特别是动密封是否良好，还必须检查扩散泵、旋片泵、罗茨泵、滑阀泵等的油量是否满足要求，机械泵、滑阀泵转向是否正确等。注意：罗茨泵转向应在真空状态下试验。

3、调试内容

经过上述一系列的准备工作后，就可以进行设备调试，调试内容主要有如下几项：

（1）、真空检漏（2）、检查极限压强（3）、抽气时间

操作和使用

1、预热阶段：

（1）、向真空机组提供压缩空气、冷却水；

（2）、接通电源，合上总开关，按控制电源开按钮，即整机电源已经接通；

（3）、旋控制方式旋钮于自动位置；

（4）、在触摸屏首页，按维持泵旋钮开，启动维持泵；

（5）、约2－3分钟后，按扩散泵旋钮开，对扩散泵电炉进行加热。注意观察扩散泵电炉三相加热电流表是否基本平衡，若相差较大应停机检查扩散泵加热电炉丝是否有某相烧断或接触不良。当扩散泵温度已达到（约240℃左右），即可转入正常工作阶段。

2、正常工作阶段

（1）、镀膜室充入大气后，打开大门，把装好待镀件、镀料的大门关上，扣紧门锁；

（2）、启动粗抽泵和滑阀泵

（3）、开粗抽阀对镀膜室进行粗抽

（4）、当真空压强小于2Pa，关闭粗抽阀

（5）、粗抽阀关闭后，按精抽阀开按钮，对镀膜室进行精抽；

（6）、设定好工件转速

（7）、当达到预定真空镀膜压强后，镀膜开始。

3、停机阶段

1）、把镀件取出后，控制方式旋钮必须于手动位置，关上大门，扣紧门锁；

（2）、按扩散泵关按钮，关扩散泵电源，维持泵保持继续工作；

（3）、打开粗抽按钮，对真空室开始抽气；

（4）、待真空室内的大气基本排除后（约10分钟） ,按粗抽阀关按钮，关闭粗抽阀；

（5）、约2小时后，扩散泵外壳下端一般冷却到 60℃以下，按维持泵关按钮，停维持泵；

（6）、关控制电源；

（7）、打下总电源开关，关闭总电源 , 停止供冷却水、压缩空气，设备停止工作。

注：需要自动关机时，必须先在触摸屏设置页上设置关机时间（如关机3小时）。先关闭扩散泵电源，再按维持泵关按钮，维持泵就会在所设定的时间(如三个小时)后自动关机。